Đặc điểm của bơm chân không trục vít bước đều dòng DS:
Đường dẫn khí thải ngắn, giảm thiểu sự lắng đọng các chất phản ứng.
So với các loại bơm chân không khô khác, bơm chân không trục vít DENAIR có đường dẫn khí ngắn nhất trong bơm chân không, giúp giảm thiểu sự nhiễm bẩn khí trong quá trình sản xuất. Rôto trục vít có thể hoạt động như một cơ chế truyền tải bột, giúp bơm hoạt động tốt ngay cả khi có nhiều chất bẩn bên trong.
Khả năng làm kín tuyến tính tối ưu, hiệu suất bơm.
Thiết kế cánh quạt được cấp bằng sáng chế giúp tạo ra hiệu quả làm kín tuyệt vời, cho phép khe hở lớn hơn giữa các bộ phận. Hiện tượng mài mòn và kẹt cánh quạt bơm do ô nhiễm trong quá trình sản xuất có thể được giảm thiểu nhờ khe hở lớn hơn cho phép.
Cấu trúc đơn giản, tỷ lệ lỗi thấp và dễ bảo trì.
Máy hút chân không kiểu trục vít bao gồm một cặp rôto trục vít và cần có các tấm cách ly; sự khác biệt giữa các rôto và tấm cách ly cũng có thể được loại bỏ. Việc đại tu máy bơm khô Hanbell dễ dàng hơn nhiều so với các loại máy bơm khô khác, do đó thời gian sửa chữa ngắn hơn và chi phí tiết kiệm hơn.
Vận hành bằng vi tính, Giám sát từ xa, Bảo vệ chu đáo
Bộ điều khiển vi xử lý cung cấp nhiều thông số bơm để giám sát trạng thái hoạt động. Bơm có thể được vận hành và giám sát dễ dàng thông qua bảng điều khiển. Phần mềm điều khiển từ xa giúp khách hàng giám sát trạng thái hoạt động của bơm từ xa.
Ưu điểm của bơm chân không trục vít bước đều dòng DS:
Sử dụng dung dịch làm mát đặc biệt để tránh nước làm mát gây ăn mòn thân tàu.
Giao diện vận hành trên thiết bị di động, thao tác thuận tiện; Hiển thị hoạt động thực tế của bơm chân không và có thể lựa chọn cả hai ngôn ngữ, phù hợp với nhu cầu thực tế của khách hàng.
Dễ dàng bắt lấy đầu nối nguồn, an toàn và tiện lợi.
Bộ gia nhiệt khí nitơ giúp máy bơm chân không phù hợp hơn cho các quy trình công nghệ bán dẫn như CVD, PECVD và các công nghệ khác.
Giao diện tín hiệu điều khiển và tín hiệu truyền thông, giám sát từ xa được thực hiện trên máy hút chân không.
Đường cong hiệu suất của bơm chân không trục vít bước đều dòng DS:
Ứng dụng của bơm chân không trục vít bước đều dòng DS:
